ULTRACLEAN SURFACE PROCESSING OF SILICON WAFERS SECRETS OF VLSI M ANUFACTURING
SPRINGER-VERLAG - 9783540616726
Ficha técnica
Editorial: Springer-verlag
ISBN: 9783540616726
Número de páginas: 616
Encuadernación: Tapa dura
Plaza de edición: Belin 1998
Especificaciones del producto
Escrito por TAKESHI HATTORI
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